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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) | 項(xiàng)目編號(hào)**** | |
2025-09-17 17:31:18 | 公告截止日期2025-09-20 18:00:00 | |
**** | 付款方式合同簽訂后70%,驗(yàn)收合格后30% | |
聯(lián)系電話 | ||
到貨時(shí)間要求 | 簽訂合同后30個(gè)工作日內(nèi) | |
¥ 390000.00 | ||
**市**** | ||
符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件 | ||
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī) | 1 | 臺(tái) |
¥ 390000.00 |
1. ★真空腔室:真空專用 304 不銹鋼腔室鏡面拋光處理(提供高真空腔體雜質(zhì)氣體析出分析檢測(cè)報(bào)告);一體化設(shè)計(jì)占用手套箱尺寸寬度小于600MM(提供圖片佐證) 2. 真空極限:極限真空≤3×10- 5Pa;漏率≤ 1×10-8Pa*L/S(國(guó)家標(biāo)準(zhǔn));保壓測(cè)試關(guān)機(jī) 12 小時(shí)后,真空度≤5Pa; 3. 抽速:抽氣時(shí)間大氣壓~5*10 4Pa <20min; 4. 基片臺(tái):抽屜式結(jié)構(gòu),承載≤ 140*140mm 樣品,配氣動(dòng)擋板(供貨時(shí)提供有機(jī)真空鍍膜掩膜裝置專利文件等相關(guān)文件) 5. 成膜質(zhì)量:膜厚不均勻性≤5%,膜厚重復(fù)性≤5%。 6. ★金屬蒸發(fā)源及電源:配 2 組金屬蒸發(fā)源,配備 4 組有機(jī)束源爐,蒸發(fā)電源5套。可實(shí)現(xiàn)多源共蒸。 7. ★低溫冷阱1套; 8. ★配有1臺(tái)進(jìn)口INFICON SQC-310C膜厚儀;配備3路水冷MCVAC晶振探頭; 9. 控制方式:西門子 PLC+西門子觸摸屏手自動(dòng)控制;可輸入速率及終厚,PID調(diào)節(jié)自動(dòng)控制蒸發(fā);電源輸出。 10. 細(xì)節(jié)設(shè)計(jì):抽氣口加裝過濾裝置,氣路設(shè)計(jì)避免揚(yáng)塵; 11. ★三工位手套箱箱體,泄漏率≤0.001vol%/h,304不銹鋼材質(zhì),箱體內(nèi)有多層擱物架,可調(diào)節(jié)高度;箱體底部配有支架,旋轉(zhuǎn)腳輪,可微調(diào)水平,配有用于壓力調(diào)節(jié)的腳踏板,箱體配有大過渡艙和小過渡艙。 12. ★氣體凈化柱:凈化材料可再生,且再生過程自動(dòng)控制、自動(dòng)除水除氧功能,H2O﹤1ppm,O2﹤1ppm。氣體控制閥:不銹鋼電磁集成閥座,循環(huán)能力:集成風(fēng)機(jī)流量≥90m3/h,加裝變頻控制。 13. ★水分析儀:采用美國(guó)VTI品牌,型號(hào)為MK-XTR-100,測(cè)量范圍為0~500ppm,采用P2O5傳感器,應(yīng)用范圍廣,尤其對(duì)于鋰電制造及金屬有機(jī)等用戶,可以進(jìn)行清洗并重復(fù)使用,避免了一次污染即報(bào)廢的問題?!镅醴治鰞x:采用美國(guó)VTI品牌,型號(hào)為MK-OX-SEN1,測(cè)量范圍:0~1000ppm,采用二氧化鋯傳感器,避免了燃料電池(電化學(xué)電池)壽命短,不能暴露在高氧中的問題,后續(xù)維護(hù)成本低,要求水氧分析儀生產(chǎn)廠家提供該功能的證明文件。 14. 前窗采用傾斜的視窗,透明鋼化安全玻璃,厚度8mm,玻璃視窗采用實(shí)芯O型密封圈,米開獨(dú)有的(真空密封方式)法蘭視窗結(jié)構(gòu),達(dá)到無泄漏。不接受單層或雙層密封圈的密封方式。需要提供證明官網(wǎng),樣冊(cè)證明,包括實(shí)物照片、結(jié)構(gòu)圖加以佐證。 15. 進(jìn)口品牌真空泵,可手動(dòng)或通過PLC啟動(dòng),流量12m3/h,可對(duì)過渡艙抽真空,并保持箱體壓力平衡,真空泵真空度可達(dá)2×10-1p。 16. .提供制造商售后服務(wù)承諾書,質(zhì)保期:12個(gè)月,質(zhì)保期內(nèi)可提供原廠備件,拒絕返修,配件只換不修; 17. .確保提供的貨物是已定型上市銷售的全新、原產(chǎn)地、原包裝、手續(xù)合法完整、渠道正規(guī)的產(chǎn)品,完全符合國(guó)家其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、投標(biāo)文件的性能指標(biāo)及功能要求。 |
12個(gè)月 |