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中山大學(xué)材料學(xué)院混合集成芯片先導(dǎo)線多功能真空離子鍍膜機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目（第二次）
招標(biāo)詳情
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****材料學(xué)院混合集成芯片先導(dǎo)線多功能真空離子鍍膜機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目（第二次）
發(fā)布時(shí)間： 2025-07-24 16:59
| 項(xiàng)目概況
| 采購(gòu)類型 | 采購(gòu) | ||
| 項(xiàng)目編號(hào) | **** | ||
| 項(xiàng)目名稱 | ****材料學(xué)院混合集成芯片先導(dǎo)線多功能真空離子鍍膜機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目（第二次） | ||
| 申購(gòu)主題 | 多功能真空離子鍍膜機(jī) | ||
| 項(xiàng)目類型 | 貨物采購(gòu) | 項(xiàng)目預(yù)算 | |
| 最高限價(jià) | 999,000.00(人民幣) | ||
| 報(bào)名及響應(yīng)開始時(shí)間 | 2025-07-24 16:59 | 報(bào)名及響應(yīng)結(jié)束時(shí)間 | 2025-07-30 12:00 |
| 采購(gòu)單位 | **** | ||
| 經(jīng)辦人 | 王老師 | 經(jīng)辦人電話 | ****5092 |
| 期望收貨時(shí)間 | 合同簽訂后50天內(nèi)交貨 | ||
| 是否送貨 | 是 | 送貨地址 | ********學(xué)院工學(xué)院1棟B110 |
| 電子簽章 | 本項(xiàng)目需要使用CA簽字 CA操作手冊(cè)下載 | ||
| 備注 | 1、國(guó)內(nèi)供貨請(qǐng)報(bào)含稅人民幣價(jià)；境外供貨（進(jìn)口）請(qǐng)報(bào)免稅人民幣價(jià)。 2、進(jìn)口貨物中如有國(guó)內(nèi)供貨部分，供應(yīng)商在報(bào)價(jià)時(shí)應(yīng)分別報(bào)價(jià)，境外供貨部分、國(guó)內(nèi)供貨部分的幣種選擇見第1條，并分別簽訂進(jìn)口貨物采購(gòu)合同和國(guó)內(nèi)采購(gòu)合同。 3、****學(xué)校不收取任何費(fèi)用， 外貿(mào)代理費(fèi)由供應(yīng)商支付。4、本項(xiàng)目需要使用CA證書，請(qǐng)供應(yīng)商根據(jù)指引（http://bidding.****.cn/article/4902）提前辦理CA證書。 5、技術(shù)參數(shù)中如標(biāo)注有“★”號(hào)的條款必須實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，負(fù)偏離（不滿足要求）將導(dǎo)致報(bào)價(jià)無(wú)效。6、如為進(jìn)口免稅報(bào)價(jià)，報(bào)價(jià)產(chǎn)品或報(bào)價(jià)產(chǎn)品的原產(chǎn)國(guó)屬****委員會(huì)公告的加征關(guān)稅范圍的，該產(chǎn)品的評(píng)審價(jià)=[供應(yīng)商的免稅報(bào)價(jià)×（1+本項(xiàng)目通知磋商談判開始時(shí)間****委員會(huì)公告的加征關(guān)稅稅率）]，如高于項(xiàng)目最高限價(jià)/預(yù)算價(jià)，則報(bào)價(jià)無(wú)效。 | ||
| 采購(gòu)明細(xì)
| 1 采購(gòu)設(shè)備 | 多功能真空離子鍍膜機(jī) |
| 數(shù)量 | 1臺(tái) |
| 參考品牌 |
“多功能真空離子鍍膜機(jī)”技術(shù)要求
| 1 | ★1.此設(shè)備為空心陰極多功能真空離子鍍膜機(jī)，可制備氧化銦基、氧化錫基、氧化鋅基、氧化鈦基、氮化鈦基、氮氧化鈦等化合物功能膜層，以及銅、鋁、鎳等金屬及合金電極等。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 2 | 2. 功能技術(shù)參數(shù)：（1）電源部分包括：主束電源（100V/200A 1臺(tái)；）引束電源（600V/10A）1臺(tái)；集束線圈電源（30V/20A）2臺(tái)；槍集束電源（20V/15A）1臺(tái)。（2）電子槍主體部件由耐熱金屬、鉭管、硼化鑭組成，安裝在腔室側(cè)壁上，電子束旋轉(zhuǎn)90度后垂直打到位于真空室底部的坩堝中用于制備膜層的原材料上，裝卡基板的治具位于腔體正上方。（3）靶基距可調(diào)。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 3 | 3. 增加獨(dú)立補(bǔ)靶系統(tǒng)及樣品傳送過渡腔，無(wú)需破空換靶，持續(xù)鍍膜，且避免腔室污染。電子槍核心部件的使用壽命≥1200h；襯底加偏壓控制，所需電源等部件可按需調(diào)整和配備；預(yù)留光電發(fā)射光譜儀（OES）接口；鍍膜幅寬具有適配產(chǎn)業(yè)化需求的能力。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | ▲4.有效鍍膜范圍或樣品尺寸不小于210 mm ×210 mm，可兼容硬質(zhì)襯底和易碎的薄硅片等襯底，樣品臺(tái)能夠在水平面內(nèi)實(shí)現(xiàn) 360 度自轉(zhuǎn)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)且轉(zhuǎn)速可調(diào)≤ 20 rpm。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | ▲5. 基板溫控范圍：室溫至500℃，控溫精度±2℃。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | ▲6. 靶基距可調(diào)范圍為：200-400 mm，具體可根據(jù)實(shí)際鍍膜調(diào)試情況進(jìn)行調(diào)整。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | ★7.鍍膜均勻性：配置膜厚儀，并配置擋板（避免等離子體啟輝或薄膜初始沉積階段對(duì)襯底的污染），兼具靜態(tài)與動(dòng)態(tài)鍍膜功能。選取技術(shù)指標(biāo)1中所述客戶指定的薄膜種類，在膜層厚度5~100 nm下，基板片內(nèi)鍍膜均勻性≤3%。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 8 | 8.工藝腔極限真空度：≤5×10-4 Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 9 | ▲9.工藝腔本底真空度：≤5×10-3 Pa，從裝樣（破真空狀態(tài)）到工藝腔達(dá)到本底真空度的等待時(shí)間≤15 min。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 10 | 10.腔體氦檢漏率：≤5×10-10 Pa.m3/s。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 11 | 11. 腔體漏氣率：＜3×10-1 Pa/小時(shí)，停泵24小時(shí)后，腔室壓力＜5 Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 12 | 12.工藝氣體為氬氣、氧氣、氮?dú)?、氫?路，另預(yù)留2個(gè)氣源接口作為后續(xù)其他工藝氣體接入，連接到混氣罐上，各氣路配備獨(dú)立的流量計(jì)搭配手動(dòng)進(jìn)氣閥和自動(dòng)進(jìn)氣閥，流量計(jì)可PID控制，配合閥門實(shí)現(xiàn)自動(dòng)工藝壓力控制；配備勻氣裝置，保證反應(yīng)氣體均勻穩(wěn)定。氣體質(zhì)量流量計(jì)最小精度≤1 sccm，量程分別為：氬氣500 sccm、氧氣200 sccm、氮?dú)?00 sccm、氫氣100 sccm，預(yù)留氣路200 sccm。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 13 | 13.偏壓范圍：低檔0-300 V；高檔0-800 V。 | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | 14. 脈沖偏壓電源功率10 kW。（頻率40 kHz，占空比0-80%，低檔500 V，高檔1000 V）。 | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | 15.整機(jī)冷卻通過水冷式冷水機(jī)進(jìn)行冷卻，冷水機(jī)功率15P，冷卻效果良好，不會(huì)對(duì)環(huán)境溫度產(chǎn)生影響。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 16 | 16.每種鍍膜功能都有合適的外觀察窗，可觀察等離子體環(huán)境和襯底上的鍍膜狀態(tài)，觀察窗配手動(dòng)擋板。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 17 | 17. 工藝過程由觸摸屏和計(jì)算機(jī)一體式＋PLC全自動(dòng)控制，直接在觸摸屏上操作；操作人員可自定義編輯沉積流程菜單，并方便調(diào)取和導(dǎo)入機(jī)臺(tái)控制系統(tǒng)。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 18 | 18. 腔體為耐腐蝕材質(zhì)。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 19 | 軟件及其功能： ①提供控制機(jī)以及各種與儀器連接的接口等硬件設(shè)備； ②提供自動(dòng)化操作軟件，具有自動(dòng)化控制功能； ③主機(jī)自動(dòng)化控制軟件具有調(diào)用并控制分機(jī)沉積工藝程序功能； ④能自動(dòng)化地控制溫度，包括加熱器溫度的監(jiān)測(cè)、設(shè)定及升降溫速率控制； ⑤能自動(dòng)化地控制樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)的方向和轉(zhuǎn)速； ⑥能自動(dòng)化地進(jìn)行參數(shù)記錄，包括實(shí)時(shí)記錄系統(tǒng)的各項(xiàng)參數(shù)如真空度、溫度、氣體流量等； ⑦能設(shè)置急停設(shè)備，以防止出現(xiàn)特殊情況； 軟件預(yù)留手動(dòng)操作模式。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 20 | 配置清單： ①真空室1個(gè)；（水帶式水冷，含兩層內(nèi)襯板，20kW加熱器） ②真空機(jī)組：螺桿式干式泵1臺(tái)；羅茨泵1臺(tái)；磁懸浮分子泵1臺(tái)；插板閥1個(gè)；粉塵過濾器1套；前級(jí)閥1個(gè)；預(yù)抽閥1個(gè)；放氣閥1個(gè)；管道1套 ③爐體支架1套；（80*80*5方鋼+100槽鋼+冷軋?zhí)间摪搴附咏M成，爐體支架、氣管、水管、電線、電纜橋架一體完成，表面噴塑防腐） ④工件公自轉(zhuǎn)系統(tǒng)1套，附帶可用于試驗(yàn)的夾具或載板； ⑤真空測(cè)量系統(tǒng)1套，配電離規(guī)、熱偶規(guī)、隔膜規(guī)； ⑥水冷控制系統(tǒng)1套； ⑦反應(yīng)氣體氣動(dòng)控制系統(tǒng)1套； ⑧勻氣裝置1套； ⑨主電源及脈沖偏壓電源各1套。電源柜體配置斷電支持系統(tǒng)（UPS） ⑩治具1套； ⑾整機(jī)控制系統(tǒng)1套； ⑿HCD電子槍及磁偏轉(zhuǎn)和聚焦系統(tǒng)1套； ⒀供電系統(tǒng)1套； ⒁隨機(jī)配件1套；包含密封圈，油封，軸承，專用工具，隨機(jī)技術(shù)文件等。 ⒂膜厚儀1套。 | 重要 | 是 | 是 |
| 資質(zhì)要求
| 1 | 第1條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 上傳營(yíng)業(yè)執(zhí)照(副本原件掃描件) | 是 |
| 2 | 第2條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 填寫并按要求上傳“廉潔承諾書”（需簽字并蓋公章） | 是 |
| 3 | 第3條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 填寫并要求上傳“法定代表人授權(quán)書”（需按授權(quán)書要求簽字并加蓋公章） | 是 |
| 4 | 第4條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 填寫并按要求上傳“供應(yīng)商資格聲明”（需簽字并蓋公章） | 是 |
| 商務(wù)要求
| 1 | 免費(fèi)保修年限 | 2年 3年 4年 5年及以上 | 是 |
| 2 | 合同履約 | ****學(xué)校合同范本執(zhí)行 下載地址：http://www.****.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式適用分期結(jié)算/付款條款 其它付款方式選項(xiàng)不得選用； （2）本項(xiàng)目簽署《****國(guó)內(nèi)采購(gòu)合同》的需開具增值稅專用發(fā)票，如無(wú)法開具，需在簽署合同時(shí)提供合理說明，否則將可能會(huì)影響合同簽署。 | 否 |
| 3 | 產(chǎn)品銷售渠道（要求上傳“制造廠商出具的授權(quán)函”） | 廠家（生產(chǎn)商）直接銷售（出具廠家聲明格式自擬） 廠家（生產(chǎn)商）長(zhǎng)期授權(quán)銷售（授權(quán)書中連續(xù)有效期不少于一年） 其他授權(quán)銷售方式 | 是 |
| 4 | 售后服務(wù)要求 | 整機(jī)保修，包括但不限于空心陰極電源、多弧電源、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、鍍膜腔體等核心部件，以及保修所需零配件、易損件及軟件等。 ①響應(yīng)時(shí)間：維修響應(yīng)時(shí)間≤12小時(shí)，到現(xiàn)場(chǎng)維修時(shí)間≤48小時(shí)； ②軟件終身免費(fèi)維護(hù)及升級(jí)； ③每年對(duì)設(shè)備進(jìn)行一次全面的檢查、維護(hù)及設(shè)備校準(zhǔn)，確保設(shè)備始終處于最佳工作狀態(tài)； ④長(zhǎng)期供應(yīng)設(shè)備所需的原廠零配件，確保在設(shè)備使用壽命內(nèi)能及時(shí)獲得所需零配件，且價(jià)格公開透明合理。 | 是 |
| 5 | 培訓(xùn)要求 | ①用戶現(xiàn)場(chǎng)免費(fèi)安裝、調(diào)試，現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)不少于2人次，以達(dá)到獨(dú)立操作為標(biāo)準(zhǔn)； ②供應(yīng)商提供中國(guó)境內(nèi)的免費(fèi)廠家培訓(xùn)，不少于1人次； 提供長(zhǎng)期的技術(shù)支持服務(wù)，可隨時(shí)通過電話、郵件或在線客服聯(lián)系技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)，獲得專業(yè)的技術(shù)咨詢和指導(dǎo)。 | 是 |
附件（1）
附件_525613710_333259160.doc下載預(yù)覽
招標(biāo)進(jìn)度跟蹤
2025-08-26
中標(biāo)通知
多功能真空離子鍍膜機(jī)
2025-07-24
重新招標(biāo)
中山大學(xué)材料學(xué)院混合集成芯片先導(dǎo)線多功能真空離子鍍膜機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目（第二次）
當(dāng)前信息
2025-04-15
招標(biāo)項(xiàng)目商機(jī)
暫無(wú)推薦數(shù)據(jù)
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