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12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備
招標(biāo)詳情
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zycgr210****22025年8月政府采購意向-12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 詳細(xì)情況
| 12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 | |
| 項目所在采購意向： | zycgr210****22025年8月政府采購意向 |
| 采購單位： | zycgr****1302 |
| 采購項目名稱： | 12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備 |
| 預(yù)算金額： | 1840.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A****0699其他試驗儀器及裝置 |
| 采購需求概況 ： | 對多材料異質(zhì)集成工藝中鎢材料界面進(jìn)行平坦化處理，保證界面的粗糙度、平整度及介質(zhì)材料上W的清除滿足工藝需求。且支持金屬終點監(jiān)測系統(tǒng)及實時調(diào)壓系統(tǒng)，金屬監(jiān)測系統(tǒng)檢測厚度范圍：8000—0，精確度：0.5%-1%。具有全自動上下料、清洗作業(yè)能力，可實現(xiàn)干進(jìn)干出。滿足項目工藝需求 |
| 預(yù)計采購時間： | 2025-08 |
| 備注： | |
本次公開的****政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
招標(biāo)進(jìn)度跟蹤
2025-05-29
招標(biāo)預(yù)告
12英寸化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備
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