序號

采購項目名稱

采購需求概況

預(yù)算金額

（萬元）

擬面向中小企業(yè)預(yù)留

預(yù)計采購時間

（填寫到月）

備注

1

****大學（籌）硅硅自動鍵合設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購硅硅自動鍵合機實現(xiàn)高精度晶圓級全自動硅硅鍵合工藝，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

6800

否

2025年05月

2

****大學（籌）超精密減薄拋光設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購晶圓臨時鍵合機、晶圓解鍵合機、解鍵合清洗機、臨時鍵合勻膠機、多功能鍵合機、鍵合對準機、超精密減薄機、CMP研磨拋光系統(tǒng)、晶圓紅外檢測系統(tǒng)、光學檢測系統(tǒng)AOI、超聲波掃描顯微鏡等設(shè)備，實現(xiàn)超精密減薄拋光工藝。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

6000

否

2025年05月

3

****大學（籌）高精度圖形轉(zhuǎn)移設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購步進式光刻機、光刻機配套勻膠噴膠及顯影系統(tǒng)、光刻機配套等離子去膠機等設(shè)備，實現(xiàn)高精度圖形轉(zhuǎn)移和去膠工藝，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

6500

否

2025年06月

4

****大學（籌）材料生長設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購銅填充電鍍系統(tǒng)、ALD鍍銅機、金屬磁控濺射臺、氧化物磁控濺射臺、熱蒸發(fā)臺、多片式電子束蒸發(fā)臺、高均勻電子束蒸發(fā)臺、電子束蒸發(fā)臺、多片式PECVD、PZT磁控濺射臺、真空冷噴涂薄膜沉積系統(tǒng)、氮化鋁磁控濺射臺、二氧化硅化學氣相沉積設(shè)備等設(shè)備，實現(xiàn)高質(zhì)量薄膜材料生長工藝，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

8600

否

2025年06月

5

****大學（籌）刻蝕設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購深硅刻蝕、TSV通孔刻蝕、金屬刻蝕機、電介質(zhì)刻蝕機、電感耦合反應(yīng)離子刻蝕、二氧化硅刻蝕機、RIE干法刻蝕、PZT刻蝕機、氮化鋁刻蝕機、離子束刻蝕機、KOH腐蝕系統(tǒng)等設(shè)備，實現(xiàn)壓電薄膜的高質(zhì)量制備與高精度加工，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

5500

否

2025年07月

6

****大學（籌）MEMS與光電集成設(shè)計加工設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購8英寸光刻機、晶圓清洗機、晶圓干燥機、勻膠機、顯影機、飛秒激光加工系統(tǒng)、雙光子聚合3D打印系統(tǒng)、管式退火爐、快速真空退火爐、離子注入機、多物理場仿真設(shè)計軟件、有限元仿真設(shè)計軟件、集成光學和半導體電子器件仿真設(shè)計軟件、****工作站等設(shè)備，實現(xiàn)高精度接近式光刻圖形加工與飛秒激光圖形加工，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

4400

否

2025年07月

7

****大學（籌）表征測試設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購聚焦離子束掃描電子顯微鏡FIB+SEM、激光共聚焦顯微鏡、金相顯微鏡、X射線衍射儀、三維光學表面輪廓儀、超快三維探針臺、低溫強磁場真空探針臺、太赫茲射頻探針臺、太赫茲時域頻譜儀、太赫茲三維層析成像系統(tǒng)、高精度太赫茲近場掃描系統(tǒng)、集成光電子測試系統(tǒng)、諧振式MEMS測試臺、直流探針臺及源表設(shè)備等設(shè)備，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

6500

否

2025年08月

8

****大學（籌）封裝設(shè)備采購項目

本****大學（籌）先進微納加工平臺建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購激光隱形切割機、等離子體清洗機、全自動貼片機、倒裝貼片機、塑封固化機、激光植球機、真空回流焊爐、自動點膠機、金絲球焊機、超聲波楔焊機、激光焊接機、平行縫焊機、3D打印機、多功能柔性激光精密加工系統(tǒng)、多層電路壓合設(shè)備、芯粒貼片機等設(shè)備，實現(xiàn)高精度后道封裝工藝，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

3400

否

2025年09月

9

****大學（****實驗室集成電路設(shè)計與微納加工設(shè)備采購項目

本****大學****實驗室建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購EDA設(shè)計大學計劃軟件包、濕法清洗機。甩干機、光刻機、激光直寫光刻機、深硅刻蝕機、氣態(tài)氟化氫釋放系統(tǒng)、電感耦合反應(yīng)離子刻蝕、各向同性干法硅刻蝕（XeF）、氯基的RIE干法刻蝕、激光輔助玻璃刻蝕機、電鍍、磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、低壓化學氣相沉積、等離子體增強化學氣相沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備（ALD）、擴散爐等設(shè)備，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

6900

否

2025年05月

10

****大學（****實驗室封裝測試表征設(shè)備采購項目

本****大學****實驗室建設(shè)。根據(jù)實驗室建設(shè)需求，擬通過采購砂輪劃片機、鍵合機、管殼打標機、網(wǎng)絡(luò)分析儀、頻譜分析儀、倒置熒光顯微鏡、原子力顯微鏡、方阻測試儀、應(yīng)力測試儀、非接觸式白光干涉儀、圓片測厚儀、橢偏儀、場發(fā)射掃描電鏡、臺階儀、顯微鏡等設(shè)備，滿****學院的專業(yè)基礎(chǔ)教學和科學研究需求。擬采購的服務(wù)的質(zhì)量標準、安全要求必須滿足國家相關(guān)標準、行業(yè)標準、地方標準等。采購的服務(wù)內(nèi)容包括但不限于以上內(nèi)容，以實際采購情況為準。

1700

否

2025年06月